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电子工业专用设备（Email投稿）

简介

《电子工业专用设备》（双月刊）创刊于1971年，是由中国信息产业部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办。是目前国内电子专用设备领域唯一获正规出版发行的权威专业刊物，多年来为推动我国电子专用设备的发展发挥了极其重要的作用。主要栏目：趋势与展望、材料制造工艺与设备、先进封装与设备、先进光刻技术与设备、业绩访谈、企业之窗。

本刊为：维普收录, 万方收录, 知网收录,第一批认定学术期刊,

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《电子工业专用设备》是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊,是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。

本刊是以报道国内外半导体设备为主，反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。刊出的论文体现了技术上的先进性、方法上的新颖性、工程上的实用性、设计上的指导性、内容丰富、信息量大、涵盖面广、适用面宽，栏日设有：趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。

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