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电子工业专用设备（Email投稿）

简介

《电子工业专用设备》（双月刊）创刊于1971年，是由中国信息产业部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办。是以报道国内外半导体设备为主，反映微电子制造前/后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。主要栏目：趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。

本刊为：维普收录, 万方收录, 知网收录,第一批认定学术期刊,

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《电子工业专用设备》是由中国电子科技集团公司主管，中国电子科技集团公司第四十五研究所主办，国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊，是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。

本刊是以报道国内外半导体设备为主，反映微电子制造前/后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。刊出的论文体现了技术上的先进性、方法上的新颖性、工程上的实用性、设计上的指导性，内容丰富，信息量大，涵盖面广，适用面宽。栏目设有：趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。

欢迎业内的专家、学者、工程技术人员及管理人士向本刊赐稿。

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