投稿问答最小化 关闭

投稿有问题？问问网友吧！

·超过了最大请求长度是什么意思 0回答

·有没有可以合作写稿的老师，主攻工程类... 3回答

·请问有适合法学硕士独作的刊物吗（获得... 2回答

·请问大家，社工方向准备写新就业群体相... 0回答

认证信息

期刊封面

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) （或：JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3）《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（原：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS）

季刊 - 美国

页面浏览4189次跳转官网7次

所属分区：3区

是否TOP：非TOP期刊

是否综述：非综述期刊

是否OA：OA混合

国际标准刊号：ISSN 1932-5150；EISSN 2708-8340

期刊语言：英语

出版区域：美国

定价：0

出版地址：SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS , 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225

期刊邮箱：

投稿网址：https://jm3.msubmit.net/

期刊网址： https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanopatterning-materials-and-metrology

出版商网址： http://www.spie.org

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) （或：JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3）《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（原：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS）（官网投稿）

简介

期刊简称J MICRO-NANOPATTERN
参考译名《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》
核心类别高质量科技期刊（T3-2025）, SCIE核心, EI 外国期刊, 目次收录（维普）,外文期刊,
IF影响因子
自引率
主要研究方向MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY；OPTICS；ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC；NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY。重点主题领域包括光刻、计算、刻蚀及集成技术的科学研究、开发与实践。涵盖的主题领域包括：光刻：涉及具有亚微米及纳米尺度特征结构的图形形成相关的工具、掩模、工艺及计算方法。包括使用光学、电子束及其他粒子束、纳米压印、分子自组装及其混合技术的成像与非成像方法。应用领域不仅涵盖半导体制造，也包括其他微纳器件的图形化。材料：用于制造微纳器件图形的材料，包括光刻胶、自组装材料、抗反射涂层以及其他对光刻工艺至关重要的材料。计量学：电子器件及其制造工艺的计量学与过程控制。刻蚀：将图形转移至构成电子器件薄膜的相关技术。集成：光刻、薄膜和刻蚀技术的结合，以形成电子器件的图形。展开更多

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3)《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（季刊）. The Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (...[显示全部]

给编辑部投稿--> 官网投稿火热进行中